开展CEMS比对监测之前，首先应该尽可能多的了解和掌握所要比对的污染源现场的基本情况、现场环境条件状况以及CEMS的基础信息，这样有利于进行更充分的和更有针对性的准备工作，可提高工作效率。

烟气CEMS的比对监测是检测现场安装的CEMS工作性能的最直观的体现，进行比对监测，才能反映出烟气CEMS正常工作状态下，监测设备的相对真实性能状况。

CEMS管理制度和档案验收主要包括两部分内容：一是CEMS相关文件、资质、报告和相关标识的审查；二是CEMS相关运行管理、校准校验以及设备管理等方面建立的制度和相应的记录。

固定污染源CEMS在完成安装、调试之后可组织实施验收工作。

开展烟气CEMS调试检测的主要目的是验证经过现场安装和调试完毕后的CEMS仪器技术性能是否达到应用的水平，是否能够满足日常污染源连续自动监测工作的需求，是否能够真实反映污染源的排放状况。

烟气CEMS选择安装位置(或取样点)的主要原因是为了真实准确地反映污染源实时的排放状况，必须选择有代表性的、烟气排放相对均匀稳定的流场

CEMS颗粒物分析仪的实验性能测试技术指标与现行的现场检测技术指标对比，主要增加了重复性、周漂移、温度影响、电压影响、振动影响5个技术性能指标要求，其中典型实验性能测试指标（重复性和周漂移）、环境条件的影响测试指标三个（温度影响、电压影响、振动影响）。

固定污染源CEMS监测数据的全过程外部质控程序主要包括三个质量保证和质量控制阶段，即CEMS的生产和销售阶段；CEMS安装、调试和验收阶段；CEMS运行、维护和监督考核阶段。

烟气湿度仪在出厂时必须经过校准，通常采用标准湿度发生器进行比对，标准湿度发生器采用高精度的露点标定。

氧含量的测定技术已经非常成熟，常用的在线监测仪器有氧化锆氧分析器、电化学燃料电池氧分析器，以及顺磁氧分析器等，顺磁氧分析仪又分为热磁式氧分析仪和磁力机械式氧分析仪及磁压式氧分析仪等。激光光谱气体分析仪也可用于氧含量的测量。